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[MEMS硅片 ] MEMS是怎样的技术 2017-07-30 13:09:46
揭开MEMS(微机电系统)的面纱 - 微机电系统(MEMS) - 知乎专栏 更多MEMS内容关注专栏微机电系统(MEMS) 微机电系统(MEMS) - 知乎专栏 lt;img src="https://pic2.zhimg.com/1851555dcae8e672f1d7f612dc ......
[MEMS硅片 ] MEMS--微机电系统 2017-07-30 13:07:52
首先先来解释什么是MEMS。Microelectromechanical Systems, 这个让老美念起来都绕口的词,中文叫做微机械机电系统。MEMS的飞速发展,是因为传统机电工艺制成的驱动器和传感器,在 体积 、 ......
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