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  • 产品简介: 2英寸硅片 IC级 硅片 电子级硅片 半导体硅片 (Prime/Test grade) 用 途 同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分
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2英寸硅片  IC级硅片 电子级硅片 半导体硅片(Prime/Test grade) 

  

        用       途

同步辐射样品载体、PVD/CVD镀膜做衬底、磁控溅射生长样品、XRD、SEM、原子力、红外光谱、荧光光谱等分析测试基底、分子束外延生长的基底、X射线分析晶体、半导体光刻.

        产品尺寸

50.8mm/2" 

        表面处理

SSP单面抛光、DSP双面抛光、Lapping双面研磨、SiO2/EPI/SOI 

        生长方式 

CZ直拉、FZ区熔  

        厚       度 

100-1000μm   

        掺杂类型

P /硼 、N/砷、磷、锑   

        晶       向

<111>/<100>/<110>  

        电  阻  率

0.0001-10000(Ω·cm)  




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